Piezoelectric ZnO films deposited by RF magnetron sputtering for microfluidic applications
| Author: | K. Watje, Hubert J. KrennerORCiDGND, Achim WixforthORCiDGND, W. Assmann |
|---|---|
| URN: | urn:nbn:de:bvb:384-opus4-882866 |
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/88286 |
| URL: | https://www-old.mll-muenchen.de/bl_rep/jb2008/p079.pdf |
| Parent Title (German): | MLL Jahresbericht 2008 Annual Report |
| Publisher: | Maier-Leibnitz-Laboratory for Nuclear-, Particle- and Accelerator-Physics of the Ludwig-Maximilians-Universität München and the Technischen Universität München (MLL) |
| Place of publication: | München |
| Type: | Part of a Book |
| Language: | English |
| Date of Publication (online): | 2021/08/09 |
| Year of first Publication: | 2009 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Release Date: | 2021/09/21 |
| First Page: | 79 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik I | |
| Dewey Decimal Classification: | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik |
| Licence (German): |  Deutsches Urheberrecht |
