TEM characterization of Si nanowires grown by CVD on Si pre-structured by nanosphere lithography
| Author: | Jörg K. N. Lindner, Djamila Bahloul-Hourlier, Daniel Kraus, Michael Weinl, Thierry Mélin, Bernd StritzkerGND |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/123756 |
| ISSN: | 1369-8001OPAC |
| Parent Title (English): | Materials Science in Semiconductor Processing |
| Publisher: | Elsevier BV |
| Place of publication: | Amsterdam |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2008 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Release Date: | 2025/07/22 |
| Volume: | 11 |
| Issue: | 5-6 |
| First Page: | 169 |
| Last Page: | 174 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/j.mssp.2008.09.016 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
