Analytische und numerische Behandlung des Oxidationsprozesses von Silizium
| Author: | Wilhelm Merz |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/17626 |
| Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Year of first Publication: | 1992 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Granting Institution: | Universität Augsburg, Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Page Number: | II, 123 |
| Note: | Augsburg, Univ., Diss., 1992 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Dewey Decimal Classification: | 6 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 66 Chemische Verfahrenstechnik / 660 Chemische Verfahrenstechnik |
