Analytische und numerische Behandlung des Oxidationsprozesses von Silizium

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Metadaten
Author:Wilhelm Merz
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/17626
Type:Doctoral Thesis
Language:German
Year of first Publication:1992
Release Date:2017/07/21
Pagenumber:II, 123
Note:
Augsburg, Univ., Diss., 1992
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Dewey Decimal Classification:6 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 66 Chemische Verfahrenstechnik / 660 Chemische Verfahrenstechnik