Analytische und numerische Behandlung des Oxidationsprozesses von Silizium
Author: | Wilhelm Merz |
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Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/17626 |
Type: | Doctoral Thesis |
Language: | German |
Year of first Publication: | 1992 |
Release Date: | 2017/07/21 |
Pagenumber: | II, 123 |
Note: | Augsburg, Univ., Diss., 1992 |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Dewey Decimal Classification: | 6 Technik, Medizin, angewandte Wissenschaften / 66 Chemische Verfahrenstechnik / 660 Chemische Verfahrenstechnik |