Epitaxial growth of monoclinic and cubic ZrO2 on Si(100) without prior removal of the native SiO2
| Author: | A. Lubig, Ch. Buchal, D. Guggi, C. L. Jia, Bernd StritzkerGND |
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| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/17861 |
| Parent Title (English): | Thin Solid Films |
| Publisher: | Elsevier |
| Place of publication: | Amsterdam |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 1992 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 217 |
| Issue: | 1-2 |
| First Page: | 125 |
| Last Page: | 128 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/0040-6090(92)90617-K |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
