MeV-Ionenstrahlsynthese von Si3N4-Schichten in Si
| Author: | Jörg K. N. Lindner |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/18203 |
| Parent Title (German): | Jahresbericht des Dynamitron-Tandem-Laboratoriums Bochum |
| Publisher: | Dynamitron-Tandem-Laboratorium Bochum |
| Place of publication: | Bochum |
| Type: | Article |
| Language: | German |
| Year of first Publication: | 1992 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 1990/91 |
| First Page: | 55 |
| Last Page: | 56 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik |
