KeV- and MeV-ion beam synthesis of buried SiC layers in silicon

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Metadaten
Author:Jörg K. N. Lindner, A. Frohnwieser, Bernd RauschenbachORCiD, Bernd StritzkerGND
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/21696
ISBN:9781558992559OPAC
Parent Title (English):Beam-solid interactions for materials synthesis and characterization: symposium held November 28 - December 2, 1994, Boston, MA, USA
Publisher:Materials Research Society
Place of publication:Pittsburgh, PA
Editor:Tony F. Heinz, Masaya Iwaki, Dale C. Jacobson, David E. Luzzi
Type:Part of a Book
Language:English
Year of first Publication:1995
Release Date:2017/07/21
First Page:171
Last Page:176
Series:Materials Research Society Symposia Proceedings ; 354
DOI:https://doi.org/10.1557/PROC-354-171
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV