Optical characterization of the cathode plasma sheath during the biasing step for diamond nucleation on silicon
Author: | Matthias SchreckORCiDGND, Thomas BauerORCiDGND, Bernd StritzkerGND |
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Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/21705 |
ISSN: | 0925-9635OPAC |
Parent Title (English): | Diamond and Related Materials |
Publisher: | Elsevier |
Place of publication: | Amsterdam [u.a.] |
Type: | Article |
Language: | English |
Year of first Publication: | 1995 |
Release Date: | 2017/07/21 |
Volume: | 4 |
Issue: | 5-6 |
First Page: | 553 |
Last Page: | 558 |
DOI: | https://doi.org/10.1016/0925-9635(94)05214-X |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |