Textur- und Spannungsanalyse an dünnen epitaktischen Diamantschichten auf Silizium

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Metadaten
Author:Stephan GeierGND
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/22075
ISBN:3183223090OPAC
Publisher:VDI-Verlag
Place of publication:Düsseldorf
Advisor:Bernd Rauschenbach
Type:Doctoral Thesis
Language:German
Year of first Publication:1996
Date of final exam:1995/11/24
Release Date:2017/07/21
Pagenumber:139
Note:
Zugl.: Augsburg, Univ., Diss., 1995
Series:Fortschritt-Berichte VDI : 9, Elektronik ; 223
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Dewey Decimal Classification:5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik