Textur- und Spannungsanalyse an dünnen epitaktischen Diamantschichten auf Silizium
Author: | Stephan GeierGND |
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Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/22075 |
ISBN: | 3183223090OPAC |
Publisher: | VDI-Verlag |
Place of publication: | Düsseldorf |
Advisor: | Bernd Rauschenbach |
Type: | Doctoral Thesis |
Language: | German |
Year of first Publication: | 1996 |
Date of final exam: | 1995/11/24 |
Release Date: | 2017/07/21 |
Pagenumber: | 139 |
Note: | Zugl.: Augsburg, Univ., Diss., 1995 |
Series: | Fortschritt-Berichte VDI : 9, Elektronik ; 223 |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Dewey Decimal Classification: | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik |