Buried epitaxial layers of 3C-SiC in Si(100) and Si(111) by ion beam synthesis: a structural characterization

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Metadaten
Author:Jörg K. N. Lindner, Kerstin VolzGND, Bernd StritzkerGND
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/23026
ISBN:9780750303354OPAC
Parent Title (English):Silicon carbide and related materials 1995: proceedings of the Sixth International Conference, Kyoto, Japan, 18-21 September 1995
Publisher:Institute of Physics Pub.
Place of publication:Philadelphia, PA
Editor:S. Nakashima, H. Matsunami, S. Yoshida, H. Harima
Type:Part of a Book
Language:English
Year of first Publication:1996
Release Date:2017/07/21
First Page:145
Last Page:148
Series:Institute of Physics Conference Series ; 142
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV