Ion implantation induced damage in relaxed Si0.75Ge0.25

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Metadaten
Author:F. Priolo, C. Spinella, E. Albertazzi, M. Bianconi, G. Lulli, R. Nipoti, Jörg K. N. Lindner, A. Mesli, R. C. Barklie, L. Sealy, B. Holm, A. Nylandsted Larsen
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/23028
ISSN:0168-583xOPAC
Parent Title (English):Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms
Publisher:Elsevier
Place of publication:Amsterdam
Type:Article
Language:English
Year of first Publication:1996
Release Date:2017/07/21
Volume:112
Issue:1-4
First Page:301
Last Page:304
DOI:https://doi.org/10.1016/0168-583X(95)01010-6
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV