MeV ion beam synthesis of well-defined buried 3C-SiC layers in Silicon

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Metadaten
Author:Jörg K. N. Lindner, B. Götz, A. Frohnwieser, Bernd StritzkerGND
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/23038
ISBN:9781558992993OPAC
Parent Title (English):Ion-solid interactions for materials modification and processing: Symposium held November 27-December 1, 1995, Boston, MA, USA
Publisher:Materials Research Society
Place of publication:Pittsburgh, PA
Editor:David B. Poker, D. Ila, Y.-T. Cheng, L. R. Harriott, T. W. Sigmon
Type:Part of a Book
Language:English
Year of first Publication:1996
Release Date:2017/07/21
First Page:877
Last Page:882
Series:Materials Research Society Symposia Proceedings ; 396
DOI:https://doi.org/10.1557/PROC-396-877
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV