Lateral implantation dose measurements of plasma immersion ion implanted non-planar samples
| Author: | Josef Hartmann, Wolfgang EnsingerORCiDGND, R. W. Thomae, H. Bender, Axel KönigerGND, Bernd StritzkerGND, Bernd RauschenbachORCiD |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/23541 |
| Parent Title (English): | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms |
| Publisher: | Elsevier |
| Place of publication: | Amsterdam |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 1996 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 112 |
| Issue: | 1-4 |
| First Page: | 255 |
| Last Page: | 258 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/0168-583X(95)01248-6 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
