Niobium oxide thin films formed by plasma immersion oxygen ion implantation
| Author: | Wolfgang EnsingerORCiDGND, Josef Hartmann, H. Bender, R. W. Thomae, Axel KönigerGND, Bernd StritzkerGND, Bernd RauschenbachORCiD |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/23543 |
| ISSN: | 0257-8972OPAC |
| Parent Title (English): | Surface and Coatings Technology |
| Publisher: | Elsevier Science |
| Place of publication: | Amsterdam |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 1996 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 85 |
| Issue: | 1-2 |
| First Page: | 80 |
| Last Page: | 85 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/0257-8972(96)02888-5 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
