Titanium nitride formation by low energy Ar ion bombardment and UV-light irradiation during deposition

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Metadaten
Author:Jürgen W. GerlachGND, Hermann WengenmairGND, Bernd StritzkerGND, Bernd RauschenbachORCiD
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/23576
ISBN:9781558992993OPAC
Parent Title (English):Ion-solid interactions for materials modification and processing: Symposium held November 27-December 1, 1995, Boston, MA, USA
Publisher:Materials Research Society
Place of publication:Pittsburgh, PA
Editor:David B. Poker, D. Ila, Y.-T. Cheng, L. R. Harriott, T. W. Sigmon
Type:Part of a Book
Language:English
Year of first Publication:1996
Release Date:2017/07/21
First Page:491
Last Page:496
Series:Materials Research Society Symposia Proceedings ; 396
DOI:https://doi.org/10.1557/PROC-396-491
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV