Formation of titanium nitride coatings by nitrogen plasma immersion ion implantation of evaporated titanium films
| Author: | Josef Hartmann, Wolfgang EnsingerORCiDGND, Axel KönigerGND, Bernd StritzkerGND, Bernd RauschenbachORCiD |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/23627 |
| Parent Title (English): | Journal of Vacuum Science & Technology A |
| Publisher: | AIP |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 1996 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 14 |
| Issue: | 6 |
| First Page: | 3144 |
| Last Page: | 3146 |
| DOI: | https://doi.org/10.1116/1.580183 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
