Photon and ion beam assisted deposition of titanium nitride
| Author: | Hermann WengenmairGND, Jürgen W. GerlachGND, Uwe Preckwinkel, Bernd StritzkerGND, Bernd RauschenbachORCiD |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/23637 |
| Parent Title (English): | Applied Surface Science |
| Publisher: | Elsevier |
| Place of publication: | Amsterdam |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 1996 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 99 |
| Issue: | 4 |
| First Page: | 313 |
| Last Page: | 318 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/0169-4332(96)00102-X |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
