Herstellung und Abbildung von SiC-Schichten auf Silizium
| Author: | Bernd RauschenbachORCiD |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/23639 |
| ISSN: | 0340-3815OPAC |
| Parent Title (German): | Beiträge zur elektronenmikroskopischen Direktabbildung und Analyse von Oberflächen |
| Publisher: | Ehrenwerth |
| Place of publication: | Münster, Westf. |
| Type: | Article |
| Language: | German |
| Year of first Publication: | 1996 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 29 |
| First Page: | 87 |
| Last Page: | 90 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik |
