Homogeneity measurements of plasma immersion ion-implanted complex-shaped samples
Author: | T. Höchbauer, Wolfgang EnsingerORCiDGND, G. Schrag, Josef Hartmann, Bernd StritzkerGND, Bernd RauschenbachORCiD |
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Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/24511 |
Parent Title (English): | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms |
Publisher: | Elsevier |
Place of publication: | Amsterdam |
Type: | Article |
Language: | English |
Year of first Publication: | 1997 |
Release Date: | 2017/07/21 |
Volume: | 127-128 |
First Page: | 869 |
Last Page: | 872 |
DOI: | https://doi.org/10.1016/S0168-583X(97)00023-2 |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |