Formation of silicon nitride layers by nitrogen ion irradiation of silicon baised to a high voltage in an electron cyclotron resonance microwave plasma
| Author: | Wolfgang EnsingerORCiDGND, Kerstin VolzGND, G. Schrag, Bernd StritzkerGND, Bernd RauschenbachORCiD |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/25893 |
| Parent Title (English): | Applied Physics Letters |
| Publisher: | AIP |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 1998 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 72 |
| Issue: | 10 |
| First Page: | 1164 |
| Last Page: | 1166 |
| DOI: | https://doi.org/10.1063/1.121001 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
