Structural investigations of titanium nitride formed by plasma immersion ion implantation

Export metadata

Statistics

Number of document requests

Additional Services

Share in Twitter Search Google Scholar
Metadaten
Author:Kerstin VolzGND, Wolfgang EnsingerORCiDGND, Bernd StritzkerGND, Bernd RauschenbachORCiD
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/25921
Parent Title (English):Surface and Coatings Technology
Publisher:Elsevier
Place of publication:Amsterdam
Type:Article
Language:English
Year of first Publication:1998
Release Date:2017/07/21
Volume:103-104
First Page:257
Last Page:261
DOI:https://doi.org/10.1016/S0257-8972(98)00405-8
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV