Formation of silicon carbide and nitride by ECR microwave plasma immersion ion implantation
| Author: | Kerstin VolzGND, Wolfgang EnsingerORCiDGND, Bernd RauschenbachORCiD, Bernd StritzkerGND |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/25925 |
| Parent Title (English): | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms |
| Publisher: | Elsevier |
| Place of publication: | Amsterdam |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 1998 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 141 |
| Issue: | 1-4 |
| First Page: | 663 |
| Last Page: | 669 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/S0168-583X(98)00196-7 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
