Ein Wachstumsmodell für die Karbonisierung von Siliziumsubstraten unter SSMBE-Bedingungen
Author: | Wilfried AttenbergerGND, Jörg K. N. Lindner, Bernd StritzkerGND, V. Cimalla, Th. Stauden, G. Ecke, G. Eichhorn, J. Pezoldt |
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Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/26274 |
Parent Title (German): | Internationales wissenschaftliches Kolloquium der Technischen Universität Ilmenau |
Publisher: | Technische Universität Ilmenau |
Type: | Article |
Language: | German |
Year of first Publication: | 1998 |
Release Date: | 2017/07/21 |
Volume: | 43 |
Issue: | 2 |
First Page: | 476 |
Last Page: | 483 |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |