Mechanisms of SiC formation in the ion beam synthesis of 3C-SiC layers in silicon
| Author: | Jörg K. N. Lindner, Wolfgang ReiberGND, Bernd StritzkerGND |
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| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/26538 |
| Parent Title (English): | Materials Science Forum |
| Publisher: | Trans Tech Publications |
| Place of publication: | Zurich |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 1998 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 264-268 |
| First Page: | 215 |
| Last Page: | 218 |
| DOI: | https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.264-268.215 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
