Two-dimensional texture and sheath evolution in metal plasma immersion ion implantation
| Author: | S. Mändl, Götz ThorwarthGND, Bernd StritzkerGND, Bernd RauschenbachORCiD |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/31776 |
| Parent Title (English): | Surface and Coatings Technology |
| Publisher: | Elsevier |
| Place of publication: | Amsterdam |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2005 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 200 |
| Issue: | 1-4 |
| First Page: | 589 |
| Last Page: | 593 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2005.01.115 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
