Coating the inner walls of tubes with TiN films by reactive sputtering
| Author: | Thomas Kraus, J. Keckes, Jörg K. N. Lindner, Wolfgang Ensinger, Bernd StritzkerGND |
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| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/31807 |
| Parent Title (English): | AIP Conference Proceedings |
| Publisher: | AIP |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2003 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 680 |
| Issue: | 1 |
| First Page: | 830 |
| Last Page: | 834 |
| DOI: | https://doi.org/10.1063/1.1619839 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
