Formation and annealing of periodically arranged amorphous SiCx nanoclusters in silicon
| Author: | Jörg K. N. Lindner, Maik HäberlenGND, M. Schmid, Wilfried AttenbergerGND, Bernd StritzkerGND |
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| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/31814 |
| Parent Title (English): | Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms |
| Publisher: | Elsevier |
| Place of publication: | Amsterdam |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2002 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 186 |
| Issue: | 1-4 |
| First Page: | 206 |
| Last Page: | 211 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/S0168-583X(01)00922-3 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
