Interface properties of TiO2 on Si formed by simultaneous implantation and deposition of titanium and oxygen ions
| Author: | Wilfried AttenbergerGND, Götz ThorwarthGND, D. Manova, S. Mändl, Bernd StritzkerGND, Bernd RauschenbachORCiD |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/31815 |
| Parent Title (English): | Surface and Coatings Technology |
| Publisher: | Elsevier |
| Place of publication: | Amsterdam |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2001 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 142–144 |
| First Page: | 412 |
| Last Page: | 417 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/S0257-8972(01)01080-5 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
