Plasma immersion ion implantation using titanium and oxygen ions
Author: | Götz ThorwarthGND, Stephan MändlGND, Bernd RauschenbachORCiD |
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Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/31865 |
ISSN: | 0257-8972OPAC |
Parent Title (English): | Surface and Coatings Technology |
Publisher: | Elsevier |
Place of publication: | Amsterdam |
Type: | Article |
Language: | English |
Year of first Publication: | 2000 |
Release Date: | 2017/07/21 |
Volume: | 128-129 |
First Page: | 116 |
Last Page: | 120 |
DOI: | https://doi.org/10.1016/S0257-8972(00)00586-7 |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik |