Einfluss der Prozessparameter auf die Depositionsbedingungen und die physikalischen Eigenschaften reaktiv abgeschiedener TiN-Schichten bei der Innenbeschichtung von Rohren mittels Ionenputtern
Author: | Thomas Kraus |
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Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/31884 |
ISBN: | 3898207064OPAC |
Publisher: | Mensch-&-Buch-Verl. |
Place of publication: | Berlin |
Advisor: | Bernd Stritzker |
Type: | Doctoral Thesis |
Language: | German |
Year of first Publication: | 2004 |
Date of final exam: | 2003/07/24 |
Release Date: | 2017/07/21 |
Pagenumber: | VIII, 133 |
Note: | Zugl.: Augsburg, Univ., Diss, 2003 |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Dewey Decimal Classification: | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik |