Comparison of trenches treated in PIII-systems
| Author: | S. Mändl, Götz ThorwarthGND, P. Huber, S. Schoser, Bernd RauschenbachORCiD |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/31889 |
| ISSN: | 0257-8972OPAC |
| Parent Title (English): | Surface and Coatings Technology |
| Publisher: | Elsevier |
| Place of publication: | Amsterdam |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2001 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 139 |
| Issue: | 1 |
| First Page: | 81 |
| Last Page: | 86 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/S0257-8972(01)00986-0 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
