Control of lithium-t-butoxide addition during chemical vapor deposition of Li-doped diamond films by optical emission spectroscopy
| Author: | Hadwig Sternschulte, Matthias SchreckORCiDGND, Bernd StritzkerGND, A. Bergmaier, G. Dollinger |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/31974 |
| Parent Title (English): | physica status solidi (a) |
| Publisher: | Wiley |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 1999 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 174 |
| Issue: | 1 |
| First Page: | 65 |
| Last Page: | 72 |
| DOI: | https://doi.org/10.1002/(SICI)1521-396X(199907)174:1<65::AID-PSSA65>3.0.CO;2-W |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
