Formation of buried SiC layers in Silicon by ion beam synthesis
| Author: | Kerstin VolzGND, Jörg K. N. Lindner, Bernd StritzkerGND |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/33552 |
| Parent Title (English): | Materials Science Forum |
| Publisher: | Trans Tech Publications |
| Place of publication: | Zurich |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 1997 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 248-249 |
| First Page: | 237 |
| Last Page: | 240 |
| DOI: | https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.248-249.237 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
