Aluminium implantation of p-SiC for ohmic contacts
| Author: | L. Spieß, O. Nennewitz, H. Weishart, Jörg K. N. Lindner, W. Skorupa, H. Romanus, F. Erler, J. Pezoldt |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/33556 |
| ISSN: | 0925-9635OPAC |
| Parent Title (English): | Diamond and Related Materials |
| Publisher: | Elsevier |
| Place of publication: | Amsterdam |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 1997 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 6 |
| Issue: | 10 |
| First Page: | 1414 |
| Last Page: | 1419 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/S0925-9635(97)00047-2 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik |
