Quasi-static micromirror with enlarged deflection based on aluminum nitride thin film springs
| Author: | Stefan Weinberger, Tran Trung Nguyen, Christoph AmentORCiDGND, Martin Hoffmann |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/39473 |
| ISSN: | 0924-4247OPAC |
| Parent Title (English): | Sensors and Actuators A: Physical |
| Publisher: | Elsevier BV |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2014 |
| Release Date: | 2018/08/02 |
| Volume: | 210 |
| First Page: | 165 |
| Last Page: | 174 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/j.sna.2014.02.017 |
| Institutes: | Fakultät für Angewandte Informatik |
| Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Informatik | |
| Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Informatik / Lehrstuhl für Ingenieurinformatik mit Schwerpunkt Regelungstechnik |
