Homoepitaktische Abscheidung von Diamant auf off-axis Substraten
| Author: | Thomas Bauer |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/44965 |
| ISBN: | 9783866643147OPAC |
| Publisher: | mbv |
| Place of publication: | Berlin |
| Advisor: | Bernd Stritzker |
| Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Year of first Publication: | 2007 |
| Date of final exam: | 2007/05/23 |
| Release Date: | 2018/12/10 |
| GND-Keyword: | Diamant; Homoepitaxie; CVD-Verfahren; Mikrowellenplasma |
| Pagenumber: | III, 138 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Dewey Decimal Classification: | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik |
