Oberflächenmodifikation und Beschichtung komplexer Bauteile mittels Plasma-Immersions-Implantation
| Author: | Siegmar Schoser |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/55713 |
| ISBN: | 3-00-004623-2OPAC |
| Publisher: | Schoser |
| Place of publication: | Wald |
| Advisor: | Bernd Rauschenbach |
| Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Year of Creation: | 1998 |
| Year of first Publication: | 1999 |
| Date of final exam: | 1998/12/10 |
| Release Date: | 2019/06/07 |
| GND-Keyword: | Plasma-Immersions-Implantation; Magnetronsputter |
| Edition: | 1. Aufl. |
| Pagenumber: | IV, 131 S. |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV | |
| Dewey Decimal Classification: | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik |
