Synthese epitaktischer Aluminiumnitridschichten mittels ionenstrahlgestützter Laserablation
Author: | Stephan Six |
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Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/55736 |
ISBN: | 3-89820-262-3OPAC |
Publisher: | Mensch-und-Buch-Verl. |
Place of publication: | Berlin |
Advisor: | Bernd Rauschenbach |
Type: | Doctoral Thesis |
Language: | German |
Year of Creation: | 2001 |
Year of first Publication: | 2001 |
Date of final exam: | 2001/07/09 |
Release Date: | 2019/06/07 |
GND-Keyword: | Epitaxieschicht; Ionenstrahl; Aluminiumnitrid; Schichtwachstum; Laserablation; Impulslaserbeschichten |
Pagenumber: | II, 101 S. |
Series: | Forschungsberichte aus den Naturwissenschaften |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV | |
Dewey Decimal Classification: | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik |