Herstellung und Eigenschaften amorpher Kohlenstoffschichten in der Plasma-Immersions-Ionenimplantation
Author: | Götz ThorwarthGND |
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Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/55746 |
ISBN: | 3-8322-5358-0OPAC |
Publisher: | Shaker-Verl. |
Place of publication: | Aachen |
Advisor: | Bernd Stritzker |
Type: | Doctoral Thesis |
Language: | German |
Year of Creation: | 2005 |
Year of first Publication: | 2006 |
Date of final exam: | 2005/12/15 |
Release Date: | 2019/06/07 |
GND-Keyword: | Dünne Schicht; Plasma-Immersions-Implantation; Diamantstruktur; Amorpher Zustand; Kohlenstoff |
Pagenumber: | III, 114 S. |
Series: | Berichte aus der Physik |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV | |
Dewey Decimal Classification: | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik |