Synthese und Spannungsanalyse von Bornitridschichten, hergestellt mittels ionengestützter Deposition
| Author: | Michael Zeitler |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/55925 |
| ISBN: | 3-18-354005-3OPAC |
| Publisher: | VDI-Verl. |
| Place of publication: | Düsseldorf |
| Advisor: | Bernd Rauschenbach |
| Type: | Doctoral Thesis |
| Language: | German |
| Year of Creation: | 1998 |
| Year of first Publication: | 1999 |
| Date of final exam: | 1998/11/26 |
| Release Date: | 2019/06/11 |
| GND-Keyword: | Ionenstrahlbearbeitung; Spannungsanalyse; CBN; Ionenplattieren; Chemische Synthese; Bornitrid; Kubisches Gitter; Dünne Schicht; Ionenstrahl; Elektronenstrahlverdampfen |
| Edition: | Als Ms. gedr. |
| Pagenumber: | VII, 98 S. |
| Series: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 5] ; 540 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV | |
| Dewey Decimal Classification: | 5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik |
