Dielectric functions and optical bandgaps of high-K dielectrics for metal-oxide-semiconductor field-effect transistors by far ultraviolet spectroscopic ellipsometry

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Metadaten
Author:Seung-Gu Lim, Stas Kriventsov, Thomas N. Jackson, J. H. Haeni, Darrell G. Schlom, A. M. Balbashov, R. Uecker, P. Reiche, J. L. Freeouf, G. Lucovsky
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/62003
ISSN:0021-8979OPAC
ISSN:1089-7550OPAC
Parent Title (English):Journal of Applied Physics
Publisher:AIP Publishing
Type:Article
Language:English
Year of first Publication:2002
Release Date:2020/03/05
Volume:91
Issue:7
First Page:4500
Last Page:4505
DOI:https://doi.org/10.1063/1.1456246
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik VI