Dielectric functions and optical bandgaps of high-K dielectrics for metal-oxide-semiconductor field-effect transistors by far ultraviolet spectroscopic ellipsometry
Author: | Seung-Gu Lim, Stas Kriventsov, Thomas N. Jackson, J. H. Haeni, Darrell G. Schlom, A. M. Balbashov, R. Uecker, P. Reiche, J. L. Freeouf, G. Lucovsky |
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Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/62003 |
ISSN: | 0021-8979OPAC |
ISSN: | 1089-7550OPAC |
Parent Title (English): | Journal of Applied Physics |
Publisher: | AIP Publishing |
Type: | Article |
Language: | English |
Year of first Publication: | 2002 |
Release Date: | 2020/03/05 |
Volume: | 91 |
Issue: | 7 |
First Page: | 4500 |
Last Page: | 4505 |
DOI: | https://doi.org/10.1063/1.1456246 |
Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik VI |