A thermodynamic approach to selecting alternative gate dielectrics
| Author: | Darrell G. Schlom, Jeffrey H. Haeni |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/62006 |
| ISSN: | 0883-7694OPAC |
| ISSN: | 1938-1425OPAC |
| Parent Title (English): | MRS Bulletin |
| Publisher: | Cambridge University Press (CUP) |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2002 |
| Release Date: | 2020/03/05 |
| Tag: | Physical and Theoretical Chemistry; General Materials Science; Condensed Matter Physics |
| Volume: | 27 |
| Issue: | 3 |
| First Page: | 198 |
| Last Page: | 204 |
| DOI: | https://doi.org/10.1557/mrs2002.71 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik VI |
