Handler zum Transportieren von flachen in der Halbleiterindustrie zur Anwendung kommenden Substraten
| Author: | J. Höppner, Johannes SchilpGND, J. Zimmermann |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/83143 |
| URL: | https://patents.google.com/patent/DE10039482A1/ko |
| Title Additional (English): | Handler for transporting flat substrates used in the semiconductor industry |
| Publisher: | Deutsches Patent- und Markenamt |
| Place of publication: | München |
| Type: | Other |
| Language: | German |
| Date of Publication (online): | 2021/02/03 |
| Year of first Publication: | 2002 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Release Date: | 2021/02/03 |
| Institutes: | Fakultät für Angewandte Informatik |
| Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Informatik | |
| Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Informatik / Lehrstuhl für Ingenieurinformatik mit Schwerpunkt Produktionsinformatik | |
| Patent Number: | DE 100 39 482 |
| Country of Patent Application: | Deutschland |
| Patent Application Year: | 2002 |
| Patent Application: | 21.02.2002 |
| Patent Grant Date: | 2016/03/24 |
| Patent Number: | WO/2002/012,097 |
| Country of Patent Application: | Deutschland |
| Patent Application Year: | 2002 |
| Patent Application: | 14.02.2002 |
