RF power transfer efficiency and plasma parameters of low pressure high power ICPs

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Metadaten
Author:Dominikus ZielkeORCiD, Stefan BriefiORCiD, Ursel FantzORCiDGND
URN:urn:nbn:de:bvb:384-opus4-840563
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/84056
ISSN:0022-3727OPAC
ISSN:1361-6463OPAC
Parent Title (English):Journal of Physics D: Applied Physics
Publisher:IOP Publishing
Type:Article
Language:English
Year of first Publication:2021
Publishing Institution:Universität Augsburg
Release Date:2021/03/04
Tag:Acoustics and Ultrasonics; Electronic, Optical and Magnetic Materials; Surfaces, Coatings and Films; Condensed Matter Physics
Volume:54
Issue:15
First Page:155202
DOI:https://doi.org/10.1088/1361-6463/abd8ee
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / AG Experimentelle Plasmaphysik (EPP)
Dewey Decimal Classification:5 Naturwissenschaften und Mathematik / 53 Physik / 530 Physik
Licence (German):CC-BY 4.0: Creative Commons: Namensnennung (mit Print on Demand)