Development of a miniaturized multisensory positioning device for laser dicing technology

Metadaten
Author:	Eric Markweg, Tran Trung Nguyen, Stefan Weinberger, Christoph Ament ORCiD GND, Martin Hoffmann
URN:	urn:nbn:de:bvb:384-opus4-852166
Frontdoor URL	https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/85216
ISSN:	1875-3892OPAC
Parent Title (English):	Physics Procedia
Publisher:	Elsevier BV
Type:	Article
Language:	English
Year of first Publication:	2011
Publishing Institution:	Universität Augsburg
Release Date:	2021/04/07
Tag:	General Physics and Astronomy
Volume:	12
Issue:	B
First Page:	387
Last Page:	395
DOI:	https://doi.org/10.1016/j.phpro.2011.03.148
Institutes:	Fakultät für Angewandte Informatik
	Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Informatik
	Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Informatik / Lehrstuhl für Ingenieurinformatik mit Schwerpunkt Regelungstechnik
Dewey Decimal Classification:	0 Informatik, Informationswissenschaft, allgemeine Werke / 00 Informatik, Wissen, Systeme / 004 Datenverarbeitung; Informatik
Licence (German):	CC-BY-NC-ND 3.0: Creative Commons - Namensnennung - Nicht kommerziell - Keine Bearbeitung (mit Print on Demand)

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