Integration of a position photodiode for a micro multi laser tracker system
Author: | E. Markweg, M. Schädel, T. T. Nguyen, O. Brodersen, Christoph AmentORCiDGND, M. Hoffmann |
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Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/85686 |
ISBN: | 978-3-8007-3490-0OPAC |
Parent Title (German): | Smartsystems integration: 7th international conference & exhibition on integration issues of miniaturized systems - MEMS, NEMS, ICs and electronic components, 13 - 14 March 2013, Amsterdam |
Publisher: | VDE |
Place of publication: | Berlin |
Editor: | Thomas Geßner |
Type: | Part of a Book |
Language: | German |
Year of first Publication: | 2013 |
Release Date: | 2021/04/15 |
Institutes: | Fakultät für Angewandte Informatik |
Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Informatik | |
Fakultät für Angewandte Informatik / Institut für Informatik / Lehrstuhl für Ingenieurinformatik mit Schwerpunkt Regelungstechnik |