Homogeneity of metal plasma immersion ion implantation and deposition
| Author: | P. Huber, Darina Manova, S. Mändl, Bernd RauschenbachORCiD |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/123262 |
| ISSN: | 0042-207XOPAC |
| Parent Title (English): | Vacuum |
| Publisher: | Elsevier BV |
| Place of publication: | Amsterdam |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2002 |
| Publishing Institution: | Universität Augsburg |
| Release Date: | 2025/07/17 |
| Volume: | 69 |
| Issue: | 1-3 |
| First Page: | 133 |
| Last Page: | 137 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/s0042-207x(02)00321-4 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
