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Für die Neutralteilchenheizung des Fusionsexperiments ITER müssen negativ geladene Deuteriumionen aus einer Ionenquelle extrahiert, auf 1 MeV beschleunigt und anschließend neutralisiert werden. Um die Plasmaprozesse der nicht thermischen Wasserstoff-Niedertemperaturplasmen in den verwendeten Ionenquellen gezielt beeinflussen zu können, ist die Kenntnis von Plasmaparametern wie Elektronentemperatur und Elektronendichte notwendig. Bezüglich der dafür benötigten Diagnostikmethoden zeichnet sich die optische Emissionsspektroskopie durch einen einfachen Messaufbau aus, der es erlaubt sichtstrahlintegrierte Plasmaparameter nicht invasiv und in situ bestimmen zu können. Im Rahmen der Arbeit wurde ein modulares Diodensystem entwickelt, das mit Hilfe von zuvor systematisch überprüften und verbesserten Auswertemethoden ein zeitaufgelöstes Online-Monitoring der Plasmaparameter ermöglicht. Die Verifikation wurde an stabilen und reproduzierbaren Elektron-Zyklotron-Resonanz-Plasmen durchgeführt. Diese Plasmen erlauben einen einfachen Vergleich zwischen den sichtstrahlintegrierenden Methoden der optischen Emissionsspektroskopie und den Referenzmethoden in einem großen Bereich von Elektronentemperatur und Elektronendichte. Um die aus Stoß-Strahlungsmodellen folgenden Besetzungsdichten im Gleichgewicht und die daraus abgeleiteten effektiven Emissionsratenkoeffizienten überprüfen zu können, wurden Referenzmessungen mit der Langmuirsonde, der Doppelsonde, der Boyd-Twiddy-Methode, der Interferometrie, dem Laserdetachment, dem Massenspektrometer und bereits überprüften optischen Diagnostikmethoden von Helium und Argon durchgeführt. Abweichungen bei der Bestimmung der Besetzungsdichten führten zu einer Korrektur des verwendeten Stoß-Strahlungsmodells. Das korrigierte Modell erlaubt eine wesentlich genauere Bestimmung der Elektronendichte.