Influence of oxygen pressure, temperature and substrate/target distance on Cu2Ta4O12 thin films prepared by pulsed-laser deposition
| Author: | Andreas Heinrich, Bernd RennerGND, Robert Lux, Stefan G. EbbinghausORCiDGND, Armin RellerGND, Bernd StritzkerGND |
|---|---|
| Frontdoor URL | https://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/30422 |
| Parent Title (English): | Thin Solid Films |
| Publisher: | Elsevier |
| Place of publication: | Amsterdam [u.a.] |
| Type: | Article |
| Language: | English |
| Year of first Publication: | 2005 |
| Release Date: | 2017/07/21 |
| Volume: | 479 |
| Issue: | 1-2 |
| First Page: | 12 |
| Last Page: | 16 |
| DOI: | https://doi.org/10.1016/j.tsf.2004.11.103 |
| Institutes: | Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Materials Resource Management | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Materials Resource Management / Professur für Chemie der Materialien und der Ressourcen | |
| Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV |
