Nanostructured SiGe thin films obtained through MIC processing

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Metadaten
Author:Marc Erik LindorfORCiDGND, H. Rohrmann, G.L. Katona, D.L. Beke, H.-F. Pernau, Manfred AlbrechtGND
Frontdoor URLhttps://opus.bibliothek.uni-augsburg.de/opus4/65343
ISSN:2214-7853OPAC
Parent Title (English):Materials Today: Proceedings
Publisher:Elsevier
Place of publication:Amsterdam [u.a.]
Type:Article
Language:English
Year of first Publication:2015
Release Date:2019/11/19
Volume:2
Issue:2
First Page:557
Last Page:565
DOI:https://doi.org/10.1016/j.matpr.2015.05.076
Institutes:Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik
Mathematisch-Naturwissenschaftlich-Technische Fakultät / Institut für Physik / Lehrstuhl für Experimentalphysik IV